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腐蝕清洗設備系列 BE-AC10系列
    發布時間: 2021-05-02 23:11    

用于矽半導體(tǐ)MEMS工(gōng)藝壓力傳感器矽杯的腐蝕與清洗工(gōng)藝。




腐蝕清洗設備系列 BE-AC10系列

（1）應用場景：

用于矽半導體(tǐ)MEMS工(gōng)藝壓力傳感器矽杯的腐蝕與清洗工(gōng)藝。
（2）   主要特點：

  • ★設備由腐蝕和清洗兩部分組成，包括設備主體(tǐ)、腐蝕槽、PID恒溫系統、PLC工(gōng)控系統、清洗槽、兆聲清洗及快(kuài)排系統等部分。

  • ★腐蝕液槽外循環，槽內(nèi)均勻噴射的流體(tǐ)模式，腐蝕反應均勻性更好。

  • ★槽內(nèi)直接測溫，直接加熱(rè)的方式，溫度反應更靈敏，腐蝕溫度更均勻。

  • ★自(zì)動程序噴淋清洗，兆聲助洗，矽片清洗效果更好

  • ★所有程序可設定運行，更精準，更可靠，更省時省力。

  • ★矽片尺寸可定制(zhì)：3吋、4吋、5吋、6吋、8吋、10吋



（3）可根據用戶使用條件(jiàn)定制(zhì)需要的規格，有關技術指标請(qǐng)索取産品詳細說(shuō)明(míng)。


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