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BP210系列矽諧振壓力傳感器
    發布時間: 2023-10-07 11:15    

數字化(huà)(huà)系統協同設計(jì)、MEMS工(gōng)藝制(zhì)造
諧振工(gōng)作原理健壯、本征數字輸出信号



BP210系列矽諧振壓力傳感器



特點:


 ·數字化(huà)(huà)系統協同設計(jì)、MEMS工(gōng)藝制(zhì)造

 ·諧振工(gōng)作原理健壯、本征數字輸出信号

 ·振子真空微(wēi)囊包裹結構、高Q值長(cháng)期穩定

 ·差頻(pín)工(gōng)作模式、分辨率和靈敏度高

 ·适于表壓、絕壓、差壓高精度測量

 ·覆蓋低(dī)、中(zhōng)、高寬壓力量程範圍


主要性能技術指标


序号

項目

規格指标

備注

1

壓力類型

表壓、差壓

絕壓

絕壓

基準壓力量程

0~1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa

1*

2

過載能力

3倍基準量程(10MPa);1. 5倍基準量程(>10MPa);1. 25倍基準量程(60MPa)

1*


被測介質

與金(jīn)屬、單晶矽、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體(tǐ)和液體(tǐ)


3

激勵電源

5~24 Vdc


4

準确度

±0.05%FS,±0.02%FS,±0.01%FS

2*3*

5

工(gōng)作溫度範圍

-55~+125℃


6

補償溫度範圍

55~+85


7

典型工(gōng)作頻(pín)率

30~50kHz

2*

8

靈敏度

2~15Hz/hPa

2*

9

Q值

20000


10

長(cháng)期穩定性

±0.02%FS/年

2*

11

電流消耗

3.5mA


12

絕緣電阻

>100MW  

8*

13

電氣連接模式

接插件(jiàn)、多芯線纜


14

測量接口形式

螺紋、法蘭

6*


注:1*. 可用戶定制(zhì)

      2*. 5VDC恒壓激勵,恒溫25℃; 

      3*.非線性數據計(jì)算為最小二乘法;

      4*. 100VDC


可提供定制(zhì)服務,如有需求請(qǐng)與營銷人(rén)員聯系。

 


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