特點:
·數字化(huà)(huà)系統協同設計(jì)、MEMS工(gōng)藝制(zhì)造
·諧振工(gōng)作原理健壯、本征數字輸出信号
·振子真空微(wēi)囊包裹結構、高Q值長(cháng)期穩定
·差頻(pín)工(gōng)作模式、分辨率和靈敏度高
·适于表壓、絕壓、差壓高精度測量
·覆蓋低(dī)、中(zhōng)、高寬壓力量程範圍
主要性能技術指标
序号 | 項目 | 規格指标 | 備注 |
1 | 壓力類型 | 表壓、差壓 | 絕壓 | 絕壓 |
基準壓力量程 | 0~1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa | 100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa | 1* |
2 | 過載能力 | ≥3倍基準量程(≤10MPa);≥1. 5倍基準量程(>10MPa);≥1. 25倍基準量程(≥60MPa) | 1* |
| 被測介質 | 與金(jīn)屬、單晶矽、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體(tǐ)和液體(tǐ) |
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3 | 激勵電源 | 5~24 Vdc |
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4 | 準确度 | ≤ ±0.05%FS,≤ ±0.02%FS,≤ ±0.01%FS | 2*、3* |
5 | 工(gōng)作溫度範圍 | -55~+125℃ |
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6 | 補償溫度範圍 | -55~+85℃ |
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7 | 典型工(gōng)作頻(pín)率 | 30~50kHz | 2* |
8 | 靈敏度 | 2~15Hz/hPa | 2* |
9 | Q值 | >20000 |
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10 | 長(cháng)期穩定性 | ±0.02%FS/年 | 2*、 |
11 | 電流消耗 | 3.5mA |
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12 | 絕緣電阻 | >100MW | 8* |
13 | 電氣連接模式 | 接插件(jiàn)、多芯線纜 |
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14 | 測量接口形式 | 螺紋、法蘭 | 6* |
注:1*. 可用戶定制(zhì);
2*. 5VDC恒壓激勵,恒溫25℃;
3*.非線性數據計(jì)算為最小二乘法;
4*. 100VDC。
可提供定制(zhì)服務,如有需求請(qǐng)與營銷人(rén)員聯系。