特點：
·數字化(huà)(huà)系統協同設計(jì)、MEMS工(gōng)藝制(zhì)造
·SiO2層絕緣隔離(lí)擴散矽敏感電橋
·特殊功能結構和材料
·适應高寬工(gōng)作溫度範圍
·适應與矽、玻璃兼容的介質環境
·表壓、絕壓、差壓類型齊全
·覆蓋低(dī)、中(zhōng)、高寬壓力量程範圍
·小型化(huà)(huà)尺度适應發動機、風洞絕緣氣、液體(tǐ)
動态壓力的“原位”或“亞原位”測量
主要性能技術指标
序号 | 項目 | 規格指标 | 備注 |
1 | 特殊種類 | 耐高溫沖擊 | 耐腐蝕 | 探針型 | 扁平型 |
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2 | 壓力類型 | 表壓、絕壓、 | 差壓 |
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| 基準壓力量程 | 100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、 | 100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa | 1* |
| 量程過載能力 | ≥2倍基準量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準量程（≥60MPa） | 2* |
3 | 橋路電阻 | 1～3kΩ | 3～5kΩ |
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5 | 零點輸出 | ≤ ±5mV | 3* |
6 | 滿量程輸出 | ＞50 mV（典型值） | 3* |
7 | 準确度 | ≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（最大值） | 3*、4* |
8 | 靈敏度對稱性 | ≤ ±0.3%FS（差壓） | 4* |
| 固有頻(pín)率 | ＞100kHz | ＞10kHz | ＞150kHz |
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9 | 工(gōng)作溫度範圍 | -55℃～+540℃ | -55℃～+180℃ | -55℃～+235℃ | -55℃～+273℃ | 5*、1* |
10 | 熱(rè)零點漂移 | ≤ 1.5%FS/55℃ | 5*、6* |
11 | 熱(rè)靈敏度漂移 | ≤1.5%F.S /55℃ | 5*、6* |
12 | 短期穩定性 | ≤±0.03%FS/8h | 3* |
13 | 長(cháng)期穩定 | ＜±0.1%FS/年 |
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14 | 激勵電源 | 恒流1～1.5mA,或恒壓5V～10V |
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15 | 電氣連接形式 | 4纜線 |
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16 | 典型接口尺寸 | M5×0.8（mm） | ≤Φ20（mm） | ≤Φ2（mm） | ≤2 ×2、≤Φ3（mm） | 7*、1* |
注：1*. 可用戶定制(zhì)； 2*. 100MPa量程過載為本量程上限；
3*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃； 4*. 非線性算法為最小二乘法；
5*.外無源補償後的熱(rè)漂移; 6*. 55℃溫區為-30～25℃或25～80℃；
可提供定制(zhì)服務，如有需求請(qǐng)與營銷人(rén)員聯系。
