MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微(wēi)機電系統）的縮寫，具有微(wēi)小的立體(tǐ)結構（三維結構），是處理各種輸入、輸出信号的系統的統稱。
是利用微(wēi)細加工(gōng)技術，将機械零零件(jiàn)、電子電路、傳感器、執行機構集成在一(yī)塊電路闆上的高附加值元件(jiàn)。
賽微(wēi)電子2015年在深交所創業(yè)闆上市(shì)，重點發展MEMS工(gōng)藝開(kāi)發與晶圓制(zhì)造業(yè)務，積極布局GaN材料與器件(jiàn)業(yè)務，目前的主要産品及業(yè)務包括MEMS芯片的工(gōng)藝開(kāi)發及晶圓制(zhì)造、GaN外延材料生(shēng)長(cháng)與器件(jiàn)設計(jì)。賽微(wēi)電子在2016年全資收購瑞典MEMS芯片制(zhì)造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微(wēi)鏡、光(guāng)開(kāi)關、矽麥克風等多種MEMS工(gōng)藝開(kāi)發及晶圓制(zhì)造的服務。根據半導體(tǐ)市(shì)場研究機構Yole Development統計(jì)的2020年數據，Silex Microsystems AB 在全球MEMS純晶圓代工(gōng)排名中(zhōng)位居第一(yī)，全球MEMS芯片代工(gōng)市(shì)場（不(bù)包含IDM廠(chǎng)商自(zì)身制(zhì)造部分的統計(jì)）的占有率約為8%。同年，引入戰略股東北京集成電路制(zhì)造和裝備股權投資基金(jīn)，在北京啟動建設“8英寸MEMS國(guó)際代工(gōng)線建設項目”。2021年6月北京8英寸MEMS産線（北京FAB3）一(yī)期建成生(shēng)産，目前處于産能爬坡階段，每月生(shēng)産5000片，預計(jì)到2021年底可生(shēng)産每月1萬片。FAB3二三期工(gōng)程正在進行，全部投産後，預計(jì)FAB3總産能達3萬片每月。2、中(zhōng)芯集成電路制(zhì)造（紹興）（代工(gōng)）
2018年3月由中(zhōng)芯國(guó)際、紹興市(shì)政府、盛洋集團共同出資設立中(zhōng)芯集成電路制(zhì)造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中(zhōng)芯集成電路制(zhì)造（紹興）項目開(kāi)工(gōng)奠基，該項目用地(dì)(dì)207.6畝，新建14.65萬平米的廠(chǎng)房，建設一(yī)條集成電路8寸芯片制(zhì)造生(shēng)産線和一(yī)條模組封裝生(shēng)産線。中(zhōng)芯國(guó)際的MEMS方案主要集中(zhōng)在MEMS麥克風、加速度計(jì)、陀螺儀、壓力、顯微(wēi)鏡、超聲波傳感器、射頻(pín)器件(jiàn)。中(zhōng)芯集成一(yī)期規劃10萬片8英寸晶圓月産能。于2020年1月正式投産，5年內(nèi)持續投資近60億人(rén)民币建設達産，形成芯片年出貨51萬片和模組年出貨19.95億顆的産業(yè)規模，規模化(huà)(huà)量産麥克風、慣性、射頻(pín)、MOSFET以及IGBT等産品的芯片和模組，實現年銷售收入達40億人(rén)民币，稅收4.1億元，淨利2億元。2020年第四季度一(yī)期産能擴産至每月4萬片晶圓，近期其成功完成晶圓設備鍊調試，8英寸晶圓月産能增至7萬片，良品率達99%。3、上海先進半導體(tǐ)（代工(gōng)）
上海先進半導體(tǐ)前身是1988年中(zhōng)荷合資的上海飛利浦半導體(tǐ)公司，經過多次改制(zhì)後，2019年被上海積塔半導體(tǐ)吸收合并，改制(zhì)為上海先進半導體(tǐ)制(zhì)造有限公司。先進半導體(tǐ)由傳統模拟芯片代工(gōng)廠(chǎng)轉型MEMS代工(gōng)， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生(shēng)産線，MEMS生(shēng)産線可以代工(gōng)的器件(jiàn)包括：三軸陀螺 儀、加速度計(jì)、生(shēng)物MEMS芯片、光(guāng)學MEMS、RFMEMS、微(wēi)流體(tǐ)開(kāi)關、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子、醫療電子以及汽車(chē)電子等領域。目前，該MEMS生(shēng)産平台擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、矽片邊緣修整等設備，設計(jì)月産量可達3000片。
4、華潤微(wēi)電子（IDM&代工(gōng)）
華潤微(wēi)電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中(zhōng)MEMS産線是國(guó)內(nèi)規模最大的與CMOS生(shēng)産線兼容的MEMS傳感器量産生(shēng)産線，具有國(guó)內(nèi)領先水平的 MEMS 表面和體(tǐ)矽加工(gōng)技術，用于制(zhì)造壓力、矽麥克風、光(guāng)電、溫濕度等MEMS傳感器。華潤微(wēi)電子8吋MEMS的3000片/月産能擴充已經完成，并投入使用。光(guāng)電及MEMS麥克風工(gōng)藝平台從6英寸升級到8英寸，實現批量生(shēng)産，産品性能及良率水平優秀；整體(tǐ)提升了其MEMS工(gōng)藝技術水平和競争能力。5、華虹宏力（代工(gōng)）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體(tǐ)制(zhì)造有限公司合并而成，自(zì)建設中(zhōng)國(guó)大陸第一(yī)條8英寸（200mm）集成電路生(shēng)産線起步，華虹宏力在上海金(jīn)橋和張江共有三座8英寸晶圓廠(chǎng)（華虹一(yī)廠(chǎng)、二廠(chǎng)及三廠(chǎng)），月産能約18萬片。在8英寸制(zhì)造平台上，華虹實現MEMS器件(jiàn)與标準CMOS工(gōng)藝及生(shēng)産線的全兼容。已流片的産品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉興市(shì)，是一(yī)家專注高端MEMS代工(gōng)并擁有自(zì)主知識産權的生(shēng)産加工(gōng)企業(yè)，是納傑微(wēi)電子旗下(xià)公司。芯動科技擁有先進的6英寸MEMS芯片産業(yè)化(huà)(huà)生(shēng)産線，工(gōng)藝能力涵蓋MEMS芯片生(shēng)産全過程，生(shēng)産壓力、加速度計(jì)、陀螺儀，光(guāng)鏡和生(shēng)物醫學等MEMS傳感器芯片産品。 芯動科技目前已投入1億多用于産線的建設，計(jì)劃聯合資本方在未來2-3年投入5億元人(rén)民币繼續完善制(zhì)造基地(dì)(dì)的相(xiàng)關設備設施。該基地(dì)(dì)目前建築面積為3000平方米，是中(zhōng)國(guó)最先進的MEMS器件(jiàn)加工(gōng)平台之一(yī)，具備芯片制(zhì)造、封裝測試等一(yī)系列的能力。7、睿創微(wēi)納（IDM）
睿創微(wēi)納總部位于山(shān)東煙(yān)台，是從事專用集成電路、紅外熱(rè)像芯片及MEMS傳感器設計(jì)與制(zhì)造的企業(yè)。睿創微(wēi)納的8英寸MEMS晶圓生(shēng)産線由公司與代工(gōng)廠(chǎng)共建，已量産，月産能1500片晶圓。2020年7月，與煙(yān)台開(kāi)發區簽署協議，建設一(yī)條8英寸MEMS工(gōng)藝線和一(yī)條化(huà)(huà)合物半導體(tǐ)工(gōng)藝線。其中(zhōng)，化(huà)(huà)合物半導體(tǐ)芯片工(gōng)藝線面向半導體(tǐ)激光(guāng)器、光(guāng)電探測器、微(wēi)波器件(jiàn)以及功率器件(jiàn)；MEMS工(gōng)藝線面向高端光(guāng)學MEMS器件(jiàn)、RF MEMS器件(jiàn)和慣性MEMS傳感器等。8、罕王微(wēi)電子（IDM&代工(gōng)）
罕王微(wēi)電子是一(yī)家以MEMS傳感器設計(jì)及制(zhì)造生(shēng)産為核心的高科技中(zhōng)美(měi)合資企業(yè)，總部位于遼甯省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。罕王微(wēi)電子2016年收購美(měi)信旗下(xià)MEMS傳感器業(yè)務，2018年建成國(guó)內(nèi)首條8英寸純MEMS規模化(huà)(huà)量産線，工(gōng)藝能力涵蓋MEMS芯片生(shēng)産全流程，設計(jì)晶圓産能36萬片/年。生(shēng)産傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻(pín)RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。9、河北美(měi)泰（IDM）
中(zhōng)國(guó)電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中(zhōng)電十三所的“6英寸SOI MEMS标準加工(gōng)技術及在高性能MEMS 器件(jiàn)中(zhōng)的應用”通過科技部組織的專家驗收。6英寸SOI MEMS标準工(gōng)藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光(guāng)開(kāi)關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件(jiàn)的批量加工(gōng)，美(měi)泰科技6英寸産線月産能達到1萬片。
10、廈門西人(rén)馬（IDM）
西人(rén)馬（FATRI）是一(yī)家芯片IDM公司，旗下(xià)西人(rén)馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人(rén)馬MEMS高端傳感器和芯片制(zhì)造基地(dì)(dì)，占地(dì)(dì)70畝，建築面積20000㎡，具有6000㎡的超淨車(chē)間和先進微(wēi)納米研究實驗室，配備8英寸向下(xià)兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片産線和中(zhōng)國(guó)先進的MEMS器件(jiàn)加工(gōng)平台。西人(rén)馬19年11月獲得(de)朗潤基金(jīn)數千萬A輪融資，20年一(yī)季度獲得(de)A+輪的1億元人(rén)民币融資，今年3月獲B輪融資，發展迅速，西人(rén)馬已經成為國(guó)內(nèi)MEMS領域IDM芯片公司的鳌頭，紅外和壓力傳感器每日産量可以達到幾十萬顆。11、廣州奧松電子（IDM&代工(gōng)）
奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導體(tǐ)工(gōng)藝技術，是國(guó)內(nèi)率先應用MEMS半導體(tǐ)工(gōng)藝技術生(shēng)産傳感器芯片的高新技術企業(yè)，也(yě)是廣東省MEMS領域集研發、設計(jì)、制(zhì)造、封裝測試、終端應用為一(yī)體(tǐ)的MEMS智能傳感器全産業(yè)鍊（簡稱IDM）企業(yè)。2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導體(tǐ)芯片生(shēng)産線，一(yī)期工(gōng)程淨化(huà)(huà)車(chē)間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區、百級潔淨度光(guāng)刻區、千級潔淨度鍍膜區、千級潔淨度刻蝕區、千級潔淨度離(lí)子注入區及參觀通道(dào)等。2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體(tǐ)傳感器芯片生(shēng)産線正式投入運營，成功量産出溫濕度、流量、氣體(tǐ)、差壓、風速等傳感器芯片。奧松電子MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線一(yī)期工(gōng)程為500納米MEMS半導體(tǐ)工(gōng)藝制(zhì)程，生(shēng)産設備約占整個(gè)投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工(gōng)程将建成350納米制(zhì)程工(gōng)藝MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線；2022年三期工(gōng)程将建成180納米制(zhì)程工(gōng)藝MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線；總項目全部建成投産後，每月流片規模将達到4萬片，2021年8月，奧松電子官網宣布對外開(kāi)放MEMS芯片代工(gōng)業(yè)務，包括設備共享、技術支持、企業(yè)孵化(huà)(huà)等服務。2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體(tǐ)（珠海）有限公司，将在珠海高新技術産業(yè)開(kāi)發區建設8英寸先進MEMS特色半導體(tǐ)IDM産業(yè)基地(dì)(dì)項目。該項目建成後，将成為國(guó)內(nèi)先進的MEMS芯片及智能傳感器産業(yè)集群，提高MEMS芯片的代工(gōng)和量産能力。
12、諾思微(wēi)系統（IDM）
諾思微(wēi)系統位于天津，是一(yī)家無線設備射頻(pín)前端MEMS濾波芯片服務商，其産品主要采用薄膜體(tǐ)聲波諧振器(FBAR)技術以及矽襯底的微(wēi)機電系統(MEMS)制(zhì)造技術，同時為無線射頻(pín)濾波器、雙工(gōng)器、和多工(gōng)器等提供解決方案。 諾思微(wēi)已投産一(yī)條6英寸MEMS晶圓生(shēng)産線和一(yī)條4英寸工(gōng)藝研發線。廠(chǎng)房和研發中(zhōng)心總占地(dì)(dì)面積2.7萬平方米。2021年3月，國(guó)家重點研發計(jì)劃“制(zhì)造基礎技術與關鍵部件(jiàn)”重點專項項目“矽基MEMS壓電薄膜及器件(jiàn)關鍵技術與平台”的項目在諾思微(wēi)系統啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻(pín)濾波器、智能傳感器提出新的技術要求，對實現晶圓級矽基MEMS壓電器件(jiàn)的大規模生(shēng)産、擺脫我國(guó)目前關鍵MEMS壓電器件(jiàn)受制(zhì)于人(rén)的局面，有重要意義。2021年8月完成4億元融資，預計(jì)在一(yī)年內(nèi)全面加速産能釋放，達年産20億顆濾波器芯片的産能規模。
13、多維科技（IDM&代工(gōng)）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術——隧道(dào)磁電阻（TMR）的磁性感應芯片産線。多維科技的磁傳感器晶圓代工(gōng)廠(chǎng)擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓産線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開(kāi)發及晶圓制(zhì)造服務（包括設計(jì)、制(zhì)造和測試），年産10億個(gè)TMR磁傳感器。2021年5月多維科技獲4億元融資，将用于對現有産線進行升級，能夠進一(yī)步強化(huà)(huà)“自(zì)研、自(zì)産、技術領先”的核心競争力。
2006年成立，總部在湖(hú)南浏陽。啟泰傳感以王國(guó)秋教授為首的科研團隊攻克了異質膜關鍵工(gōng)藝與技術，建設國(guó)內(nèi)第一(yī)條金(jīn)屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生(shēng)産線，是世界上少(shǎo)數幾家具有金(jīn)屬濺射薄膜壓敏芯片規模化(huà)(huà)生(shēng)産能力的公司之一(yī)。
2019年8月該生(shēng)産線實現批量生(shēng)産，年産壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一(yī)期工(gōng)程順利完工(gōng)投産，用地(dì)(dì)面積35畝，建設總用地(dì)(dì)面積2萬多平米，傳感器芯片年生(shēng)産能力可達600萬顆，傳感器封裝200萬支，年産值可達10億元。二期項目正在進行，預計(jì)完工(gōng)後，傳感器芯片産能将達2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年産值可達50億元。15、高德紅外（IDM）
高德紅外創立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批産型 MEMS 生(shēng)産線，是目前國(guó)內(nèi)唯一(yī)一(yī)條自(zì)主可控且具備批産能力的非制(zhì)冷紅外焦平面探測器生(shēng)産線，已實現從 120×90 到 1280×1024 從低(dī)到高各類面陣規格産品型号批産能力。高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器産線，據2021年8月消息，年底将有新産線投産，并提高3~4倍産能。
16、武漢衍熙微(wēi)器件(jiàn)（IDM）
武漢衍熙微(wēi)器件(jiàn)擁有全國(guó)第一(yī)條8寸體(tǐ)聲波（BAW）量産線，具有先進的光(guāng)刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創新自(zì)主開(kāi)發的産品生(shēng)産流程。該産線主要産品有MEMS濾波器、雙工(gōng)器等。2018年，武漢衍熙微(wēi)器件(jiàn)進行項目擴建，一(yī)期為租賃現有廠(chǎng)房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車(chē)間；二期計(jì)劃建設約10000平方米的無塵室車(chē)間，用于擴大生(shēng)産。杭州士蘭微(wēi)1997年成立，是國(guó)內(nèi)規模最大的集成電路芯片設計(jì)與制(zhì)造一(yī)體(tǐ)（IDM）的企業(yè)之一(yī)。自(zì)2010年開(kāi)始，士蘭微(wēi)電子投入大量資金(jīn)，通過對加速度傳感器、地(dì)(dì)磁傳感器、壓力傳感器等一(yī)系列傳感器産品的開(kāi)發，在6吋、8吋芯片生(shēng)産線上實現了批量制(zhì)造能力，并建立自(zì)己的MEMS封測生(shēng)産線，初步走通了系列傳感器的IDM發展之路，已申請(qǐng)相(xiàng)關發明(míng)專利百餘項。目前士蘭微(wēi)MEMS傳感器産品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數字三合一(yī)傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。2021年7月30日，士蘭微(wēi)發出資産重組公告，引入國(guó)家集成電路産業(yè)投資基金(jīn)股份有限公司，募集11億元。
18、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國(guó)內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下(xià)子公司明(míng)銳光(guāng)電、明(míng)皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務。2010年固锝收購明(míng)銳光(guāng)電，明(míng)銳光(guāng)電主要從事MEMS-CMOS三維集成制(zhì)造平台技術及八寸晶圓級封裝技術及産線和産品研發。
2011年成立明(míng)皜傳感，從事微(wēi)機電傳感器芯片和器件(jiàn)的工(gōng)藝開(kāi)發、設計(jì)。2021年8月，明(míng)皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人(rén)民币增加至 7085.19 萬元人(rén)民币，增幅為 9.96%。2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級MEMS器件(jiàn)封裝工(gōng)藝及相(xiàng)關核心技術的開(kāi)發并提供代工(gōng)服務，服務領域涵蓋消費類電子産品、汽車(chē)電子、工(gōng)業(yè)控制(zhì)、家電領域慣性傳感器（加速度計(jì)、陀螺儀）以及紅外傳感器等。2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導體(tǐ)，願景是将華景傳感的MEMS麥克風芯片設計(jì)技術與蘇州固锝的封測技術及生(shēng)産經驗相(xiàng)結合，逐步實現MEMS麥克風在高端領域的進口替代。同月，華锝MEMS聲學傳感器及射頻(pín)濾波器封測項目落戶蘇州。項目一(yī)期産線将建立符合華為體(tǐ)系标準的MEMS聲學傳感器的封測基地(dì)(dì)，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期将引入國(guó)內(nèi)首創MEMS麥克風及射頻(pín)濾波器的WLP晶圓級封裝産線，該晶圓級封裝為芯片流片工(gōng)藝最後一(yī)道(dào)關鍵工(gōng)藝，華锝将擁有自(zì)主晶圓級封裝相(xiàng)關自(zì)主技術知識産權。
19、蘇州納米城（中(zhōng)試線）
蘇州納米城6英寸MEMS中(zhōng)試線由蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工(gōng)業(yè)園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平台項目。蘇州6英寸微(wēi)納機電制(zhì)造（MEMS）中(zhōng)試線采用市(shì)場化(huà)(huà)、全開(kāi)放的運作模式，主要開(kāi)展MEMS産品工(gōng)藝研發、MEMS加工(gōng)、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超淨場地(dì)(dì)租賃、工(gōng)藝技術培訓等十多項專業(yè)服務，目前已成功導入壓力傳感器、微(wēi)鏡傳感器、微(wēi)流體(tǐ)傳感器等産品
20、淄博高新區6英寸中(zhōng)試線
該産線由清華大學、淄博高新區MEMS研究院和國(guó)高(淄博)微(wēi)系統科技有限公司共同完成。是國(guó)內(nèi)首條矽基4/6英寸兼容MEMS中(zhōng)試代工(gōng)平台，超淨規模國(guó)內(nèi)一(yī)流；配備了國(guó)際一(yī)流設備的中(zhōng)試代工(gōng)線，中(zhōng)試生(shēng)産能力可達月産傳感器十萬隻，産品的測試環境也(yě)居國(guó)內(nèi)先進水平。21、中(zhōng)科院微(wēi)電子所（中(zhōng)試線）2016年由中(zhōng)科院微(wēi)電子所設立的MEMS研發平台，其8英寸MEMS中(zhōng)試線工(gōng)藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計(jì)、基于氧化(huà)(huà)釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中(zhōng)X-ray探測、基于薄膜體(tǐ)聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等産品。22、上海微(wēi)技術工(gōng)研院（中(zhōng)試線）
2017年，上海微(wēi)技術工(gōng)業(yè)研究院（以下(xià)簡稱“工(gōng)研院”）構建的國(guó)內(nèi)首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中(zhōng)試線正式投入運營，月産量将達到3000件(jiàn)。該産線部署了MEMS、矽光(guāng)子、RF、矽基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生(shēng)物等相(xiàng)關工(gōng)藝和量測設備。作為國(guó)內(nèi)第一(yī)條先進8英寸研發中(zhōng)試線，SITRI的8英寸研發中(zhōng)試線不(bù)僅可承擔産品研發、小批量生(shēng)産、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率。今年6月，上海微(wēi)技術工(gōng)研院宣布将8英寸線每年四分之一(yī)的總機時資助給上海大學，用于微(wēi)電子學院教學實踐，為期5年。23、中(zhōng)科院上海微(wēi)系統所（研發平台）
中(zhōng)國(guó)科學院上海微(wēi)系統所現有的MEMS技術平台由微(wēi)系統加工(gōng)平台和微(wēi)系統封裝平台兩部分組成，分别位于上海微(wēi)系統所漕河泾園區內(nèi)主樓的一(yī)層和二層淨化(huà)(huà)間內(nèi)。整個(gè)平台擁有100多台套先進的大中(zhōng)型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微(wēi)芯片制(zhì)造、芯片封裝、器件(jiàn)測試、微(wēi)系統集成等成套工(gōng)藝，為微(wēi)系統研究提供有力的技術保障。
這幾年爆發的中(zhōng)美(měi)貿易糾紛，以及新冠疫情影響，讓深處電子行業(yè)的各家廠(chǎng)商飽受半導體(tǐ)芯片技術“卡脖子”之苦，缺“芯”浪潮綿綿不(bù)絕。如果國(guó)産廠(chǎng)家擁有自(zì)主知識産權，那麼産能就(jiù)不(bù)會(huì)這麼受制(zhì)于人(rén)。随著(zhe)國(guó)産精神的覺醒，大量資本的湧入，相(xiàng)信接下(xià)來中(zhōng)國(guó)MEMS産線将會(huì)越開(kāi)越多！
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